本发明涉及
半导体技术领域，本发明实施例提供一种半导体制造设备，包括：工艺区域；供应系统，与工艺区域相连，用于向工艺区域供应化学品，使工艺区域进行预设工艺步骤；检测系统，与供应系统相连，用于检测供应系统的供应状态；主控预警系统，与检测系统和供应系统相连，用于当检测到供应系统的供应状态异常时，发出预警信息并控制供应系统继续向所述工艺区域供应化学品，直至工艺区域完成预设工艺步骤。避免了在当下现有生产模式中，若检测到供应系统供应状态异常时，中止机台功能的设计而造成材料报废的现象，节约制造成本。
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“半导体制造设备及其控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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来源：北方有色网
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