一种基于(111)硅的微机械加速度传感器及其制造方法,该传感器是由一片(111)单晶硅基板和上、下基板各一片构成,(111)硅基板上的惯性质量块是由同一基板上的至少一对弹性悬梁连接到固定边框,在外来加速度作用下可作垂直于基板表面方向的运动,并引起其与上、下基板上的平板电极间的电容发生变化,以检测外来加速度。所述弹性悬梁相对于(111)硅基板为上下对称,其制造和尺度控制是由硅化学各向异性腐蚀和高深宽比干法刻蚀工艺组合实现的,(111)硅基板与上基板、下基板通过对准键合连接。该传感器实现闭环检测,具有结构对称性好、工艺可控性好、检测精度高、易于多轴集成等特点,应用于石油地震勘探等领域。
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来源：北方有色网
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