一种CVD方法制备ZnSe过程中的尾气自动控制系统，它包括化学气相沉积炉，该化学气相沉积炉内设有
锌坩埚和尾气管道，该化学气相沉积炉设有温度控制器，该尾气管道内设有硒化氢
检测仪；该硒化氢检测仪与数据处理装置电性连接；该数据处理装置和该温度控制器电性连接至计算机。本实用新型CVD方法制备ZnSe过程中的尾气自动控制系统，可以在程序运行后对工艺过程中的各个参数做精确控制和记录。采集数据间隔可以根据需要进行设定，对记录的测量数据可以设置一定的保存期限，便于对工艺进行分析。
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来源：北方有色网
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