本发明公开了一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法，属于光电探测器件制造技术领域。该激光探测器包括衬底和沉积在衬底上的氧化钛薄膜，所述氧化钛薄膜为四方
金红石型晶体结构，厚度为200~300nm，厚度延伸方向与衬底的倾斜方向的夹角为5~15°。本发明可以有效地避免紫外强激光对化学键的选择破坏而造成的优先溅射问题。其制备方法可生长得到致密且结晶度良好的氧化钛薄膜，制备的激光探测器具有探测波段宽，响应速度快，灵敏度高的优点，并且能抗紫外强激光辐照。
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来源：北方有色网
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