本申请公开了一种超导薄膜的参数测量装置。该参数测量装置包括：腔室，腔室的底部用于对超导薄膜提供机械支撑；互感线圈，用于向超导薄膜提供磁场并采集表征超导薄膜的磁穿透深度的测量信号；以及位于腔室内的第一电极和第二电极，第二电极用于与超导薄膜电连接，其中，在磁性测量模式下，腔室内填充有离子液体，离子液体至少覆盖第一电极和超导薄膜，从而参数测量装置通过调整第一电极和第二电极之间的栅压控制离子液体，以调整超导薄膜的化学组分。该参数测量装置可以提高超导薄膜参数测量的效率和准确性。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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