本发明涉及的是一种微冷却测控系统及其加工方法。它包括硅基片和玻璃片两层,硅基片表面上设置有微沟道和无阀微泵图形,玻璃片上设置有温度和流量传感器,硅片和玻璃片通过键合工艺粘接在一起。本发明产品的优点在于:结构简单,易于操作;易于批量生产;可靠性高;流量控制范围宽。本发明适用于纳、皮卫星环境热控、燃料控制和微电子
芯片系统冷却等领域。
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来源：北方有色网
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