本发明提供一种柔性衬底修补结构、制造方法及检测修补方法。柔性衬底修补结构包括柔性衬底与至少一修补层。柔性衬底具有规则凹陷。至少一修补层位于柔性衬底上且填满规则凹陷，其中至少一修补层的材料包括具有以下化学式(1)所示单元的聚硅氮烷化合物，其中Rx、Ry及Rz分别为氢原子或碳数为1～10的经取代的烷基、未经取代的烷基、烯基或芳香基。通过修补层的形成以避免或减少柔性衬底上的膜层产生裂纹或是断裂等问题。
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来源：北方有色网
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