本公开涉及用于检测何时微电子衬底不再被适当地固定或者从旋转卡盘丢失的系统和方法。微电子衬底可以固定至旋转卡盘，在处理室中的处理期间，当将衬底暴露于化学物质时，旋转卡盘可以使衬底旋转。旋转卡盘可以包括用于检测固定微电子衬底的夹持机构的位置的一个或更多个检测器。检测器可以生成与微电子衬底的位置相关的电信号。当电信号超过阈值时，系统可以使卡盘停止旋转以防止对处理室的额外损坏。
声明：
“检测从旋转卡盘丢失的晶片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1216
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
