本发明涉及一种检测装置及方法，属于化学机械抛光技术领域。该检测装置应用于化学机械平坦化设备中，化学机械平坦化设备包括：修整器、抛光盘和设置于抛光盘上的抛光垫，修整器的执行端上设置有金刚砂轮。检测装置包括：电源、测距传感器、控制器和通信模块。通过设置于修整器的靠近抛光垫的一侧的测距传感器来检测修整器与金刚砂轮之间的距离；再通过控制器来对测距传感器检测的距离信息进行处理，得到抛光垫的第一厚度，并将该第一厚度与预设厚度值进行比对，即可准确的知道该抛光垫是否需要进行更换，解决了传统判定方法的不足，提高了晶圆抛光的质量。
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来源：北方有色网
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