本实用新型公开了一种抛光液供给位置核准装置和化学机械抛光系统，所述抛光液供给位置核准装置包括固定座和水平板，所述固定座可拆卸地设置于抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝向抛光盘的中心设置；所述水平板设置于抛光垫与抛光液供给臂之间，抛光液经由所述抛光液供给臂的端部滴落至所述水平板的顶面，水平板的顶面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置。
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来源：北方有色网
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