本发明一种化学气相沉积法玻璃车床料柜及使用方法，包括料柜框以及设置在料柜框内的四氯化硅料瓶系统和各种气体管道系统，还包括快速排气阀、加热盘、风扇、固定架、柜温热电偶、管温热电偶、环状加热带、温控表、气体探测器。采用夹层填充保温棉结构，具有优良的保温隔热效果，柜内设有恒温温控装置，可使柜内空气、各进料管路温度和料瓶温度保持恒定。内柜体还设有危险气体报警系统，增加了内柜体安全性。
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来源：北方有色网
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