本实用新型公开了一种化学机械平坦化设备，包括研磨垫，设于旋转台上；研磨头，用于带动晶圆在研磨垫上旋转以研磨晶圆表面；研磨液输送臂，包括带有出口的研磨液输送管，用于向研磨垫上输送研磨液；还包括，冷却单元，用于降低研磨液输送管内研磨液的温度；加热单元，用于升高研磨液输送管内研磨液的温度；调控单元，用于至少监测研磨垫的温度和研磨液输送管内研磨液的温度，以通过冷却单元和/加热单元的调节，使得研磨垫的温度和研磨液输送管出口处的研磨液温度趋于相同。本实用新型中研磨液温度可以快速升降双向切换；降低能耗；提高生产效率。
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来源：北方有色网
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