本发明提供了一种
镍合金的绿色环保化学机械抛光方法，属于超精密加工技术领域。先对镍合金进行研磨，然后进行粗抛光和精抛光。粗抛光时，抛光磨粒为α‑
氧化铝，平均粒径为3‑5μm，抛光液为去离子水，抛光垫为聚氨酯。精抛光时，陶瓷磨粒为氧化硅、α‑氧化铝、氧化铈、氧化镁，平均粒径为20‑60nm，重量百分比为0.5％‑3％；络合剂为亚氨基二琥珀酸钠盐、柠檬酸钠，重量百分比为0.5‑2％；pH调节剂为酒石酸、醋酸，重量百分比为0.5‑2％，调节抛光液pH为3‑5；抛光垫为磨砂革。抛光后镍合金的测量范围为50×70μm
2，表面粗糙度R
a达到0.4‑0.7nm，实现了镍的超光滑超低损伤化学机械抛光。
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“镍合金的绿色环保化学机械抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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