用于生理体液多指标联合检测的半导体
芯片及系统,属于半导体传感器及其检测系统和生物医学检验领域。本发明利用免疫分析、半导体器件物理及其工艺,实现多种生理指标的无标记联合检测,并具有寻址功能。其中,在p型Si衬底的下表面制作有光源腔,二氧化硅层和氮化硅层由下至上依次位于p型Si衬底上;氮化硅层上表面制备有左旋多巴敏感膜;光源阵列芯片上的光源点嵌入光源腔内部,实现光源点与敏感单元的对准,具有高精度光寻址的优点;芯片的测控系统包括,
电化学工作站、锁相放大器、光源控制器、电脑。本发明的半导体芯片及系统,其点样过程采用微流体技术,有利于降低点样成本;检测过程具有无标记的特点,可将生理体液的多种被测生理指标转化为工作电极与对电极之间的电信号,并实时采集与记录;同时,由于采用了左旋多巴敏感膜,具有较好的生物兼容性。
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来源：北方有色网
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