本发明公开了一种高纯化学品连续稳定输送系统，包括贮存罐、缓冲罐和推送系统，所述推送系统包括第一推送系统和第二推送系统，所述第一推送系统和第二推送系统均与输送总管连通，所述第一推送系统用于将贮存罐内的高纯化学品推送至缓冲罐内，此为填充过程；所述第二推送系统用于将缓冲罐内的高纯化学品推送至使用机台，第一推送系统和第二推送系统上分别独立设置有第一调压阀和第二调压阀，所述第二推送系统上还设有压力传感器和压力监测计。本发明高纯化学品连续稳定输送系统结构布置合理，成本低，且有效实现了缓冲罐内的填充压力与供应压力的独立稳定可调，有效保证了高纯化学品的连续稳定供应。
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来源：北方有色网
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