本发明公开一种化学机械抛光设备，包括主体，其特征在于在所述主体内设有能把抛光体夹紧的夹紧装置，在所述主体一侧设有抛光面检测装置，在所述主体上侧设有能把工件抛光的旋转切换容器机构，本发明结构简单，使用方便，与现有技术相比，当需要使用各种化学性试剂为工件抛光时，可将其不同试剂放置不同的容器，切换时只需简单操作便可完成切换所用试剂，十分方便。
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来源：北方有色网
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