本实用新型涉及氨气化学气相沉积技术领域，且公开了一种基于氨气的化学气相沉积设备，包括反应箱，所述反应箱侧边固定连接有控制器，所述控制器顶部固定连接有智能阀，所述智能阀侧边固定连接有输气管，所述智能阀侧边固定连接有输气计量仪，所述输气计量仪与反应箱和控制器相连接，所述控制器侧边固定连接有信号接收器，所述控制器底部固定连接有加热器，所述加热器与反应箱相连接，所述反应箱表面固定连接有气体
检测仪。该基于氨气的化学气相沉积设备，通过反应箱、控制器、智能阀、输气管、输气计量仪、信号接收器和加热器等部分的连接和作用，达到远程操作打破空间限制，不直接接触保障安全，简单操作数值可控的效果。
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来源：北方有色网
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