本发明公开了一种设有泵送管道压力监控装置的化学干法蚀刻机，包含通过泵送管道依次连接的工艺室、隔离阀、自动压力控制器及干泵；自动压力控制器与干泵之间设置数字压力检测器；数字压力检测器设置在泵送管道的外侧；数字压力检测器用于检测泵送管道压力改变。泵送管道外侧均布多个O型圈。本发明能够监控泵送管道的压力改变，实时消除泵送管道前级APC组件和隔离阀的故障，防止泵送管道泄露。
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来源：北方有色网
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