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用于化学机械抛光的修整装置及系统

918   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:58:59
本实用新型公开了一种用于化学机械抛光的修整装置及系统,所述修整装置包括固定座、摆臂和修整器,所述修整器设置于摆臂的端部并绕固定座摆动;所述修整器包括修整头和检测组件,所述修整头用于修整抛光垫,所述检测组件与修整头在水平方向相邻设置以检测抛光垫的形貌。
声明:
“用于化学机械抛光的修整装置及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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