一种通用化学机械抛光液，属于
超硬材料超精密加工领域，其成分包含氧化锆磨料、硅酸钠分析纯试剂、去离子水。室温下，将磨料氧化锆、硅酸钠、分别加入去离子水中，超声设备中震荡5分钟得到化学机械抛光液。所述抛光液中，氧化锆浓度为0.05～0.09g/ml，粒径为0.05～0.2μm，所述的硅酸钠浓度为0.05～0.12g/ml。该化学机械抛光液具有通用性，能够用于抛光蓝宝石晶体，石英、金刚石、硅片、钨合金材料。相较于传统抛光液，晶体表面粗糙度降低，无损伤缺陷。且该新型抛光液的成本低廉，无需特殊工艺合成，并且所有组分均不会造成环境污染。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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