本发明公开了属于微细加工领域的以微小间隙电解蚀除加工为核心,将光刻和电铸工艺、精密电火花线切割加工技术融合的金属合金材料的阵列微细型孔的
电化学加工工艺。其方法是采用线切割或光刻电铸工艺制作阵列微细电极,对金属合金材料进行电解蚀除加工。如需加工较小深宽比的阵列微细型孔,所述阵列微细电极之间有绝缘胶填充并将端面磨平;如需加工较大深宽比的阵列微细型孔,所述阵列微细电极之间没有绝缘胶填充,但电极侧壁上覆有绝缘薄膜。绝缘处理减小了电解加工中杂散电场的不利影响。本发明利用阵列微细电极的电化学加工工艺,辅之以脉冲电源技术、微小间隙检测和控制技术,为阵列微细型孔提供一尺寸一致性好、具有批量生产特点的制作方法。
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来源：北方有色网
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