本发明提供一种化学机械抛光工艺中确定研磨时间的方法,该方法中所述研磨时间由自动处理系统反馈给用于化学机械抛光的设备;所述自动处理系统通过上述抛光设备最近若干批硅片的研磨参数来确定下一批硅片的研磨时间;所述研磨参数包括最近M批硅片各自的研磨时间、最近一次检测到的研磨速率RT、及最近M批硅片的平均研磨速率RM;通过RT与RM的比值来修正研磨时间。本发明揭示的在化学机械抛光工艺中确定研磨时间的方法,考虑到了每天CMP机台研磨速率的变化和差异,用修正系数RT/RM来修正研磨时间,这种方法确定的时间将更精确。
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来源：北方有色网
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