公开了用于半导体层的
电化学氧化的方法。在用于作为电子器件之一的电子源10(场致发射类型电子源)的生产过程中的电化学氧化处理过程中,基于来自电阻检测部分35的检测电压,控制部分37预先测定由于电解溶液B的电阻导致的电压增量。然后,控制部分37控制电源以供应恒电流,以便引发对于在物体30上形成的半导体层的氧化处理。控制部分37通过从中减去电压增量来校正来自电压检测部分36的检测电压。当校正电压达到给定的上限电压值时,可以操作控制部分37来中断电源32的输出和终止氧化处理。本发明使得可以生产在其特性方面具有减小的变化的电子器件。
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来源：北方有色网
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