本发明属于蓝宝石化学机械抛光加工控制技术领域，公开了一种蓝宝石化学机械抛光加工工艺智能决策方法、系统及终端，基于7R模型建立蓝宝石化学机械抛光智能工艺决策系统框架；基于数据库结构建立完善的化学机械抛光数据库；结合三支决策理论、层次分析法以及最近邻算法计算的全局相似度、置信度与活性度的综合置信因子开展实例优选；建立结合决策树与深度神经网络的异质集成学习与粒子群算法优化的预测模型获得最优抛光工艺方案输出；基于Qt 4.8.7和SQLite 3开发蓝宝石化学机械抛光加工工艺决策系统并应用于国产数控抛光机床。本发明为蓝宝石化学机械抛光加工工艺智能决策提供工业应用范式，实现蓝宝石化学机械抛光智能化。
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来源：北方有色网
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