本发明提供了一种化学机械研磨设备，包括转盘、铺设于所述转盘上的研磨垫、以及设置于所述研磨垫上方的研磨头、研磨液供应管以及调节器，还包括置于所述调节器中的电机以及分析电机信号的监测分析单元，所述监测分析单元根据所述电机的扭转力矩信号判断所述研磨垫的状态。根据本进行化学机械研磨，通过所述电机控制所述调节器的旋动，以修整研磨垫；所述监测分析单元根据电机的扭转力矩信号实时判断所述研磨垫的状态。本发明提供的化学机械研磨设备及其防止化学机械研磨残留的方法，通过所述电机有效控制所述调节器悬臂的运动，同时通过所述监测分析单元可间接分析待研磨表面是否有残留，及时对化学机械研磨设备查缺补漏。
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来源：北方有色网
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