本发明公开了一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法，包括以下步骤：（1）试样截取：将截取的试样用砂轮机将待测面磨平；（2）试样磨光：依次经过400#、800#、1200#
碳化硅水砂纸磨光；（3）试样清洗：无水乙醇清洗样品，冷风吹干；（4）氩离子束抛光：采用高能氩离子束轰击样品待测面40min～120min进行抛光，得到用于EBSD分析的样品。本方法无需采用机械抛光或电解抛光，也无需使用去应力腐蚀液，整个制样过程避免了酸性化学药品的使用，既安全又环保。采用本方法制备的低碳钢EBSD样品具有很高的解析率，样品标定率达到92‑99%，完全满足EBSD分析需要。
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来源：北方有色网
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