本发明提供一种材料非平面表面原位统计分布分析方法,可以实现非平面表面大尺度(cm2)范围内的化学成分及其状态的原位统计分布分析。针对非平面材料表面,采用激光光源对相对运动的样品表面实施连续的激发,实现精确位置空间坐标与所采集到的各相关成分光谱或质谱的高速、实时检测信号的同步定位;采用材料非平面表面(俯视)投影含量等高图及三维形貌含量等高图两种方式表征非平面材料任何位置空间坐标与各化学成分含量的对应分布;以各位置的信息为基础建立含量-频度分布曲线,获得最大偏析与最小偏析的准确空间定位与定量、中位值的统计判定、表观致密度的统计解析、以及统计偏析度、统计符合度等表征非平面材料性能的新信息。
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来源：北方有色网
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