本发明涉及化学机械抛光技术领域,公开了一种机械与化学交互作用测量装置,包括机架、摩擦力测量部分、杠杆加载部分、往复直线运动的氮化硅小球和三电极部分。本发明的装置可以模拟腐蚀条件下的磨粒磨损性能,实现了同时在线测量
电化学参数和机械参数;可以测量化学机械抛光过程中单纯的化学腐蚀量、机械磨损量以及交互作用去除量,从而对化学机械抛光过程中的材料去除机理进行研究。
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来源：北方有色网
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