本实用新型是用于化学机械抛光设备平台的马达负载力矩终点探测系统，其结构包括马达、马达驱动器、AI/O线、数据连接线、信号传输线、信号放大电路和总控制器，其中马达通过AI/O线连接马达驱动器，AI/O线的输出端通过数据连接线连接信号传输线，信号传输线连接信号放大电路，信号放大电路连接总控制器。本实用新型的优点：结构简单有效，在对晶圆研磨率的精度要求不高时，替代了投入成本高昂的激光测量设备，通过马达负载力矩终点探测系统测量的数据完成晶圆研磨率数据检测工作，有效降低了生产成本。
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来源：北方有色网
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