本实用新型涉及一种用于化学机械抛光装置的在线终点检测系统,包括位于化学机械抛光装置上的传感器、数据采集器和工控机,其中传感器包括检测抛光盘转速的速度检测传感器和用来检测电机电流的电流检测传感器,所述速度检测传感器和电机电流检测传感器的输出端均通过接入数据采集器与工控机连接。本实用新型所述用于化学机械抛光装置的在线终点检测系统能够对化学机械抛光工艺进行实时、灵敏的在线终点检测,且能精确检测到化学机械抛光工艺的结束点。
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来源：北方有色网
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