本发明属于传感器技术领域,具体为一种用于
电化学检测的微电极阵列
芯片传感器。本发明使用硅基材料进行制造,芯片集成了电化学检测的工作电极、辅助电极和参比电极,具有很好的信噪比。辅助电极和工作电极构成环盘结构,辅助电极与工作电极间的距离小,提高了电极的灵敏度。多个工作电极成阵列分布,可以用于多通道检测。本发明可以广泛用于生物医药等多领域的检测。本发明采用MEMS工艺进行制造,工艺简单,成本低。
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“用于电化学免疫检测的微电极陈列芯片传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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