本发明提供了一种用于常压多气体漏率测试的质谱
分析检测装置及方法，包括：气体检测室与真空系统连接；气体检测室与气体分析及校准系统连接；气体检测室与循环气体取样系统连接；真空计与气体检测室连接；气体检测室用于气体检测与分析；真空系统用于气体检测室抽真空，真空系统抽速满足气体检测室工作真空压力要求；气体分析及校准系统用于漏率检测以及质谱分析仪的标定；循环气体取样系统将密闭检漏容器内的气体进行循环并引入气体检测室；真空计用于对气体检测室进行真空测量。本发明的常压多气体漏率测试的质谱分析方法及检测装置能够快速、精确、可靠的对航天器的整体密封性能进行高精度、快速漏率测试。
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“一种用于常压多气体漏率测试的质谱分析检测装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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