本发明公开了一种NOx传感器
芯片性能分析方法和系统，包括：将传感器芯片置于空气气氛下，通过循环伏安测试分别对芯片三个工作回路进行电极活化。将传感器芯片置于空气气氛下，并在公共电极和第一工作电极间开展循环伏安测试，确定主泵工作电压E0；在公共电极和第二工作电极间开展循环伏安测试，确定辅泵工作电压E1；在公共电极和测试电极间开展循环伏安测试，确定测试电压E2。将芯片置于NOx环境下，在第一工作回路施加主泵工作电压E0，形成主泵工作电流Ip0；在第二工作回路施加辅泵工作电压E1，形成辅泵工作电流Ip1；在测试回路施加主泵工作电压E2，形成测试电流Ip2。所述三个回路形成的有效电流信号均可满足传感器芯片的设计要求时判定芯片合格。
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来源：北方有色网
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