本实用新型公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置。所述装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成。本装置实现了静电力大小测量、晶圆脱附时间测量和晶圆表面温度测量三项功能的综合集成；原理简单、结构紧凑，可有效节省空间；适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性；操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。
声明：
“一种静电卡盘基本性能检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
826
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
