本发明涉及一种集成式真空发生器性能检测设备，包括：第一气路，其包括依次连接的第一电子阀、耗气流量表和进气压力表，第一电子阀控制外部气源与待测集成式真空发生器的进气接头之间的通断；第二气路，其包括依次连接的第二电子阀、真空流量表和真空压力表，第二电子阀控制所述集成式真空发生器的抽真空接头与大气之间的通断；PLC控制器，其与第一电子阀、第二电子阀相连；只开启第一电子阀，可对集成式真空发生器进行内漏检测，然后，依次开启第二电子阀和真空发生器的真空电磁阀，可进行最大真空度、最大耗气量以及最大真空流量的检测，该检测结束后，开启真空发生器的破坏电磁阀，进行最大破坏流量的检测，整体结构容易实现且检测数据全面。
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来源：北方有色网
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