本发明公开了一种金属电极保护层的激光刻蚀
钙钛矿探测器阵列及制备方法，涉及半导体器件技术领域，包括：衬底；金属电极，位于衬底的一侧，且阵列排布；金属走线，位于衬底的一侧，与金属电极位于同层，且金属电极通过金属走线电连接；保护层，位于金属电极和金属走线背离衬底的一侧；在采用激光刻蚀过程中，保护层用于保护金属电极和金属走线；光吸收层，位于保护层背离衬底的一侧。本申请可实现在激光刻蚀的过程中对金属电极和金属走线进行保护，拓宽了激光刻蚀阵列的工艺窗口，提高了光电探测器阵列的探测精度。
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“金属电极保护层的激光刻蚀钙钛矿探测器阵列及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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