本发明公开一种精密测量技术领域的基于导模激发古斯汉欣位移增强效应的微位移测量方法,将高平行度的激光入射到沉积在棱镜上的金属膜—空气隙—沉积在光学玻璃片上的金属膜组成的双面金属包覆波导结构中,在满足相位匹配条件时,激光耦合进入波导中引起反射光相位相对于入射光相位产生急剧变化,导致反射光束古斯汉欣位移大大增强,利用这个位移对导波层空气隙厚度变化非常敏感的特性,通过检测反射光古斯汉欣位移的变化来测量光学玻璃片相对于棱镜位置的改变,从而实现对待测物体位移大小的测量。本发明可实现高灵敏度、快速准确的实时测量,且方法简单、抗干扰能力强,可广泛应用于建筑、地质监测,机械加工、材料检测的微位移测量。
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来源：北方有色网
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