本申请提供了一种用于溅射透明导电薄膜的靶材，包括氧化物组分、硫化物组分、颗粒添加组分，并且引入核壳结构转换材料颗粒，核壳结构的壳由拓扑绝缘体形成，所述壳结构中的拓扑绝缘体在颗粒表面形成高导电区域，并且对各个材料作进一步限定，降低了透明导电薄膜的靶材制备成本的问题，并且赋予透明导电薄膜能够将通过透明导电薄膜的非可见光波段转化成可见光，使透明导电薄膜在光应用领域更广泛。
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“用于溅射透明导电薄膜的靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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