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北京北京有色金属理论与应用

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弱引力天体表面物质破碎剥离化学作动装置及剥离方法

一种弱引力天体表面物质破碎剥离化学作动装置及剥离方法,包括助推器、弹托和气囊侵彻体。助推器包括导向管、推进剂、推进剂点火具;气囊侵彻体包括侵彻弹头、开坑气囊、弹射气囊、开坑气囊气体发生剂、开坑气囊点火具、弹射气囊气体发生剂、弹射气囊点火具、内导向杆、密封层和壳体。弹拖和气囊侵彻体依次安装于助推器内部。推进剂点火具安装于导向管顶部,其下部为推进剂。侵彻弹头安装于气囊侵彻体壳体的下部,其上方依次为弹射气囊点火具、弹射气囊气体发生剂、弹射气囊密封层、开坑气囊点火具、开坑气囊气体发生剂和开坑气囊。本发明解决弱引力、真空、低温环境下天体表面物质剥离需求,为星体样品采集和次表层科学探测提供先决条件。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于深度强化学习的地铁站空调系统节能控制方法

本发明提供了一种基于深度强化学习的地铁站空调系统节能控制方法,该方法通过采集地铁站空调系统数据参数;对采集的数据进行滑动平均滤波处理、归一化和反归一化处理并利用线性函数转换方法将数据转换成0‑1范围内的数值;利用神经网络和步骤获得的数据构建地铁站空调系统的神经网络模型;确定DDPG智能体的状态变量、动作变量、奖励信号以及结构;利用多步预测的DDPG算法求解最后的控制策略,本发明提出的控制方法具有很好的温度跟踪性能,与传统DDPG算法相比,智能体训练次数减少了86次,且能够在系统负荷变化的情况下使系统稳定运行,满足车站温度需求,同时与目前实际工程中的运行系统相比,节能17.908%。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
蠕虫状胶束的检测方法
蠕虫状胶束的检测方法 1024     
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本发明提供了一种蠕虫状胶束的检测方法,属于分析化学技术领域。本发明采用z‑ArN2+为化学探针物质,将长链探针加入到试验溶液中,用于探测界面区域,将短链探针加入不含表面活性剂的对照溶液中,通过上述方法测定探针和不同亲核试剂的选择性,将得到的产物用高效液相色谱法测定产率,利用短链探针的选择性转化为界面摩尔数,通过测定产物的产率检测蠕虫状胶束。本发明利用化学探针的方式检测蠕虫状胶束,本发明方法制备简单、成本低、可实现实时检测,具有广泛的应用前景。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
自清洁浸入式电化学水处理装置及其运行方法

本发明公开了一种自清洁的浸入式电化学水处理装置,包括反应室、超声振动杆、自动排污模块、控制模块以及电极,电极包括阳极板和阴极板;控制模块中设置有控制器、电压表、超声发生器以及恒流输出电源,电压表、超声发生器以及恒流输出电源连接控制器;超声振动杆连接超声发生器,超声振动杆设置在阳极板和阴极板之间,所述电压表用于监测阳极板和阴极板之间的电压;自动排污模块设置在反应室的底部,自动排污模块连接所述控制器;恒流输出电源与所述控制器、电压表、超声发生器以及电极连接;本发明采用浸入式装置,处理效率高,不占用额外的空间,具有自动清垢排垢功能,无需将设备取出进行清垢,减少了装置的投入成本和后期运营成本。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
多孔电极材料制备及其用于电化学高效除藻

一种多孔电极材料制备及其用于电化学高效除藻,属于电极材料技术领域。首先制备具有三维全连通网络的多孔石墨烯电极材料,然后将制备的多孔石墨烯材料用作电解阳极电极材料,两极设置一定的间距,自然界取定的富含藻类植物、微生物及有机污染物的污水加入到电解反应池中,阴阳极间施加电压,同时多孔结构形成微电极。达到全方位高表面积电解氧化还原水体的效果。通过定期测定水体藻含量、COD、BOD、总磷及氨氮等指标,最终得到高污染物去除率水体。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
掺磷石墨烯量子点及其电化学制备方法

本发明提供一种掺磷石墨烯量子点及其电化学制备方法,所述制备方法选择含磷能溶于水的大分子有机物作为电解液,通过恒电位电解,使得磷氧键断裂,磷原子脱离大分子有机物进入石墨烯量子点内部,形成碳磷键和磷氧键,完成掺杂,制备出了高掺杂含量的掺磷石墨烯量子点,该量子点对羟基自由基有着良好的清除作用,通过ESR能谱测试其对羟基自由基的清除率达到了78.49%。本发明操作过程简便、整个制备过程便于统筹、未使用强氧化性酸或强还原剂、具有一定的商业可行性。以石墨这种储备丰富、环境友好型的前驱体代替了氧化石墨、纳米碳管等昂贵材料,有望在生物医学领域获得广泛的应用。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于提前强化学习的交通信号灯自适应控制方法

本发明提供了一种基于提前强化学习的交通信号灯自适应控制方法。该方法包括:基于车路协同感知获取交通信号灯的管控区域内的所有车辆的位置与速度信息,根据所有车辆的位置与速度信息构建交通信号灯的管控区域交通状态矩阵;基于管控区域交通状态矩阵利用神经网络的训练过程,对交通信号灯在未来时刻的交通信号灯相位做出自适应决策;在未来时刻到来后,交通信号灯根据自适应决策选择对应的相位进行显示。本发明的方法实现了城市交叉口信号控制器的区域环境感知、提前信号决策与双向倒计时控制,可以解决自适应信号控制系统无法预测的缺点,为疏解交叉口区域交通流量提供基于智能体自学习的交通信号灯控制方法。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
多组分防热材料热化学平衡烧蚀数据库构建方法

多组分防热材料热化学平衡烧蚀数据库构建方法,提出了一种基于烧蚀主控组分筛选的多组分防热材料在气动加热环境下的烧蚀特性数据库构建方法。该方法对任意两种或两种以上组分组成的材料、任意来流气体组分均具有较好的适用性,具有构建方法便捷、研发成本低的特点,可为材料烧蚀热响应预测及防热结构烧蚀性能评估提供直接数据支撑。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于深度强化学习的无参考图像质量客观评价方法

本发明公开了一种基于深度强化学习的无参考图像质量客观评价方法,该方法利用全参考方法对添加失真后的图像质量进行评估并反馈给决策模型,该决策模型的目标是为当前图像选出能造成质量下降最小的失真操作。由于图像质量所能下降的幅度与图像本身的质量密切相关,为了更好地进行决策选择,模型中存在的状态值会学习到有关图像质量的特征,因此将状态值作为图像质量的映射。在训练过程中只需要高质量图像作为输入,而不需要失真图像以及主观分数,在测试过程中将状态值直接作为质量分数输出。实验结果表明,与其他不使用主观分数的无参考图像质量评价方法相比,本方法性能更加优异。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置

一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置。包括:2.45GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、环形阶梯同轴天线、环形石英窗、圆柱形微波谐振腔、测温窗口、观察窗口、进气口、排气口、冷却水口、可升降式衬底台结构、可升降式基台调谐结构。环形阶梯同轴天线由从上至下分别由三个不同直径的环形阶梯凹槽构成,对微波电场和等离子体具有压缩效应,使微波电场和等离子体在衬底表面上方分布更加均匀。环形石英窗安置于环形阶梯同轴天线下方,远离等离子体,提升设备真空性的同时避免了等离子对石英介质窗口的刻蚀。本装置用于制备单晶金刚石和多晶金刚石膜,可实现高功率、高腔压下金刚石单晶或大面积薄膜的高质量均匀沉积。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
等离子体增强化学气相沉积制备二维材料的系统及方法

等离子体增强化学气相沉积制备二维材料的系统及方法,属于二维材料制备技术领域。所述系统包括真空系统、衬底加热系统、等离子体增强系统和进气管路;真空系统含有镀膜腔室和进样腔室,在镀膜腔室和进样腔室上均分别设有进气口、出气口以及多个观测窗口。本发明旨在利用等离子体辅助促成前驱体反应裂解,并在超高真空下实现对衬底表面和腔体的清洁,在通过特殊设计进气管路进行前驱体定点供给,从而实现在多种材料表面上制备二维材料。本发明强调环境和表面的超高清洁对于二维材料生长的辅助作用,并以此系统与方法实现二维薄膜材料的生长,取消传统的转移过程对材料的破坏以及高温生长对衬底的局限性。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
美花石斛的质量检测方法

本发明公开美花石斛的质量检测方法,包括:1)以ITS‑26SE和ITS‑17SE为引物,进行测序,以鉴定待测石斛药材的品种;2)对样本容量为n的样本进行色谱检测,获取以化学小分子成分夏佛托苷和/或柚皮素作为参照成分的检测数据;3)对样本分别进行指纹图谱检测,获取美花石斛的全化学成分的指纹图谱峰面积值;4)以色谱数据中夏佛托苷和/或柚皮素的成分含量值作为响应变量,将指纹图谱中的其它成分的峰面积值作为自变量建立分析模型通过Lasso方法筛选变量建立化学小分子成分的相关特征指纹图谱模型。通过一代测序及特征指纹图谱,精确地鉴别和控制美花石斛药材的质量。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于光学DNA生物传感器的1,8-二氨基萘的检测方法

一种基于光学DNA生物传感器的1,8-二氨基萘的检测方法。本发明属于分析化学检测和DNA生物传感器技术领域,涉及一种基于类过氧化物酶G-DNA催化双氧水氧化鲁米诺产生化学发光从而对1,8-二氨基萘进行检测。具体的以含G-DNA结构的hairpin?DNA为原料,hairpin?DNA与1,8-二氨基萘作用后,并在K+及hemin作用下形成具有类过氧化物酶催化活性的G-DNA,通过催化双氧水氧化鲁米诺产生化学发光的变化从而实现对1,8-二氨基萘进行检测。该光学DNA生物传感器方法简单方便,检测周期短,响应时间快,稳定性好且具有高灵敏等优点。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
光调控神经信息检测系统

本发明公开了一种光调控神经信息检测系统,包括:光刺激调控模块,能结合光遗传学技术通过激光光纤或者LED灯电极进行光调控;电化学检测模块,用于检测神经化学信号;电生理检测模块,与微电极阵列相连,用于检测神经电生理信号;同步数据采集模块,用于同步采集神经电化学和电生理信号;主控模块,用于同步协调控制光刺激和神经信号检测,并完成数据通信;同步控制模块,用于完成人机交互和数据处理、显示、分析、存储等功能。本发明可以解决神经科学研究中光调控与信号检测同步困难、实验操作繁琐的问题。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
三通道检测溶液中硫化氢浓度的装置

本实用新型公开了一种三通道检测溶液中硫化氢浓度的装置,该装置包括:功能化玻碳电极,所述功能化玻碳电极的电极头表面具有含有稀土荧光纳米材料的水凝胶修饰层;紫外/荧光光源(980nm)和紫外/荧光光源(808nm);分束器;荧光信号发射/接收器;荧光检测单元;热检测单元;电化学检测单元;处理单元。本实用新型的装置结构简单,采用多种检测模式,灵敏、准确地对待测液体中的待测组分进行定量分析。同时本实用新型的装置中使用的材料更加简单,所需仪器的价格也更加低廉,能够实现低成本的多模式、灵敏、准确的定量分析。本实用新型的分析检测装置方法可用于食品、药品和活体样品等不同样品的检测。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于反事实回报的多智能体深度强化学习方法、系统

本发明属于学习算法领域,具体涉及一种基于反事实回报的多智能体深度强化学习方法、系统,旨在为了解决解决多智能体信誉分配问题。本发明方法包括:基于多智能体的运行环境,定义全局状态;基于局部观测量,通过预设的Q网络模型,获取各智能体对应的执行动作;获取各智能体对应的经验数据对,并增入经验池;从经验回放池中随机获取训练样本,训练并更新Q网络模型的权重;每隔设定的步长,将基于Q网络模型的权重更新目标Q网络模型;重复上述Q网络模型权重优化步骤,直至达到训练结束条件,获取最后一次权重更新的Q网络模型。本发明实现了完全合作多智能体间的信誉分配,进而实现了多智能体的协同决策,而且收敛快,效率高。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
用于火力发电厂化学清洗的装置

本实用新型涉及一种用于火力发电厂化学清洗的装置,包括清洗箱,清洗箱依次连接有清洗泵、试样监视管及正洗进水阀门,正洗进水阀门与被清洗设备连接,同时通过反洗回水阀门与清洗箱连通,在清洗泵与试样监视管之间安装有流量计及自循环阀门,在试样监视管与正洗进水阀门之间连接有反洗进水阀门,在被清洗设备反洗口与清洗箱之间安装有正洗回水阀门,在清洗箱的顶部依次安装pH表、计时器、温度计、加药口和加药阀,在清洗箱内安装有加热器,加热器受安装在清洗箱外部的控温装置控制。本实用新型可以更好的监测清洗过程,防止设备本体被腐蚀。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
前列腺特异性抗原检测试剂盒及其制备方法

本发明涉及免疫分析医学领域,具体地,本发明提供了一种游离前列腺特异性抗原(fPSA)化学发光免疫分析诊断试剂盒及其制备方法。本发明的试剂盒包括:抗-FITC抗体包被的固相载体、FITC标记的anti-PSA抗体、酶标记的anti-fPSA抗体、上述酶所作用的化学发光底物、以及阴性和阳性对照液。制备上述试剂盒的方法包括以下步骤:1)以抗-FITC抗体包被的固相载体;2)用FITC标记anti-PSA抗体,获得FITC标记的anti-PSA抗体;3)用酶标记anti-fPSA抗体,获得酶标记的anti-fPSA抗体;4)分装和组装。本发明的试剂盒成本低、灵敏度高,与已有的化学发光免疫分析检测方法相比,可以提高分析的灵敏度,重现性,减少使用抗体的量。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
齿瓣石斛的质量检测方法

本发明公开齿瓣石斛的质量检测方法,包括:1)以ITS‑26SE和ITS‑17SE为引物,进行测序,以鉴定待测石斛药材的品种;2)对样本容量为n的样本进行色谱检测,获取以化学小分子成分夏佛托苷和/或柚皮素作为参照成分的检测数据;3)对样本分别进行指纹图谱检测,获取齿瓣石斛的全化学成分的指纹图谱峰面积值;4)以色谱数据中夏佛托苷和/或柚皮素的成分含量值作为响应变量,将指纹图谱中的其它成分的峰面积值作为自变量建立分析模型,通过Lasso方法筛选变量建立化学小分子成分的相关特征指纹图谱模型。通过一代测序及特征指纹图谱,精确地鉴别和控制齿瓣石斛药材的质量。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
铁皮石斛的质量检测方法

本发明公开铁皮石斛的质量检测方法,包括:1)以ITS‑26SE和ITS‑17SE为引物,进行测序,以鉴定待测石斛药材的品种;2)对样本容量为n的样本进行色谱检测,获取以化学小分子成分夏佛托苷和/或柚皮素作为参照成分的检测数据;3)对样本分别进行指纹图谱检测,获取铁皮石斛的全化学成分的指纹图谱峰面积值;4)以色谱数据中夏佛托苷和/或柚皮素的成分含量值作为响应变量,将指纹图谱中的其它成分的峰面积值作为自变量建立分析模型,通过Lasso方法筛选变量建立化学小分子成分的相关特征指纹图谱模型。通过一代测序及特征指纹图谱,精确地鉴别和控制铁皮石斛药材的质量。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
声表面波化学传感器
声表面波化学传感器 998     
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本实用新型公开了一种声表面波化学传感器;它包括声表面波谐振器I、声表面波谐振器II、混频器和低通滤波器;声表面波谐振器I、声表面波谐振器II的两端均连接有匹配电路;匹配电路之间的线路上设置有前置放大器;表面波谐振器I、声表面波谐振器II右端的匹配电路连接在后置放大器上,前置放大器和后置放大器相连接;表面波谐振器I右端的后置放大器通过信号线连接在混频器的一端、声表面波谐振器II右端的后置放大器通过信号线连接在混频器的另一端;混频器连接在低通滤波器上。本实用新型成本造价低,体积占用少,符合市场要求;能够广泛应用在各种不同气体的气体监测上,准确性高。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
检测煤层气中硫化物含量的方法和装置

本发明公开了一种检测煤层气中硫化物含量的方法,所述方法包括:从煤层气样品中分离硫化物;对所述硫化物进行燃烧处理;将燃烧处理得到的燃烧产物与臭氧进行反应,根据所述反应产生的化学发光得到煤层气各硫化物的含量。相应的,本发明还公开了一种检测煤层气中硫化物含量的装置,本发明通过将硫化学发光检测器与气相色谱仪相结合来进行煤层气中含硫化合物的检测,在一次检测中可以实现煤层气中各类硫化物的含量检测,检测流程简单,提高了检测效率和准确度;而且,减少了操作误差和分析误差,也改善了实验人员的工作环境。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
商业电池全生命周期内多种气体原位检测方法

本发明涉及一种商业电池全生命周期内多种气体原位检测方法,属于商业电池技术领域。所述方法为通过使用气体传感器对电池内部产生的气体进行实时检测,测试过程中外接电化学工作站及传感器数据分析设备,改变测试条件并进行充放电循环测试,同时采集气体传感器数据,实现对全生命周期内、不同条件下电池内部气体浓度随电压电流变化的实时监测。本发明可用于检测不同类型商业电池全生命周期(容量保持率>80%)内产生的气体,实现了实时在线气体定量测量,由气体传感器替代气相色谱等大型分析设备,检测时间快,灵敏性较高,可对低浓度气体进行检测,并可用于不同类型商业电池在不同工况及测试环境下的气体检测且所得数据真实无干扰。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于深度强化学习的连续交叉口信号协同控制方法

本发明提供了一种基于深度强化学习的连续交叉口信号协同控制方法,该方法采用上下层Agent网络的DQN策略处理连续交叉口信号配时,以减少状态获取及反馈评价的复杂度,解决连续交叉口信号优化问题。为保证训练目标的平稳性,避免其训练陷入目标值与预测值的反馈循环中震荡发散,采用Dueling Double优化方法对DQN优化训练,相比于传统DQN控制模型,该方法可根据不同道路环境和交通状态实时切换交叉口相位,增加了交叉口之间的协作能力,保障交叉口行车畅通,提高交叉口通行能力,为缓解交通拥堵、提高出行效率并减少安全事故提出了新的解决方案和理论依据。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
化学机械研磨工艺建模的集成电路版图结构

本发明公开了一种化学机械研磨工艺建模的集成电路版图结构,属于集成电路制造工艺和版图设计技术领域。所述版图中包含多个长度和宽度大于100微米的矩形结构模块,模块与模块之间的距离为模块间距,所述模块间距大于100微米,模块由金属线和介质层构成,模块中金属线面积占模块总面积的比例为金属密度,所述模块为不同金属线宽的孤立线结构模块、不同金属密度和金属线宽的模块、不同金属线宽与密度组成的复合结构模块、或复合结构模块中不同模块间距的结构模块。本发明能够减少测试芯片和实验次数,节省建模成本和时间。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
电化学生物传感器及其制造方法

一种电化学生物传感器及其制造方法,该传感器包括有:电极底板、双面胶和亲水盖板,置于电极底板上的圆形工作电极置于电极底板上的圆弧形参比电极;所述的双面胶上有圆孔和长方形孔组合而成的沟槽;载有所述的沟槽的双面胶与所述的电极底板及所述的亲水盖板共同组成采样通道;反应试剂固定在所述的圆弧形参比电极的内部以及外部。具有对称、均一的试剂层斑点,同时有利于稳定施加到工作电极上的工作电压,从而提高传感器的响应重现性。由圆孔和长方形孔组合而成的沟槽;保证快速准确进样并扩大了被测物与电极表面试剂层的反应区域和作为信号采集的有效电极面积,使响应信号增强。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
有源配电网深度强化学习实时调度方法及系统

本发明公开了一种有源配电网深度强化学习实时调度方法及系统,采用改进的DDPG算法自适应了光伏和负荷的不确定性变化,避免了对复杂不确定性进行建模,该算法通过对高维、连续的状态、动作空间进行合适的定义,避免了离散化带来的误差,模型泛化和收敛机制的改进使得算法更有利于收敛。所提实时控制策略综合考虑了系统供需两侧的不平衡程度和响应主体的可调度能力,事件驱动机制的设计使得响应主体能够快速准确地响应能量补偿需求,有效地实现了系统的安全稳定运行。已实施的案例研究表明,所提出的日内‑实时多时间尺度有源配电网低碳经济调度方法在历史数据信息有限的情况下,可以达到接近拥有完美预测信息的优化方法的性能,同时计算时间大幅缩短。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
高初始磁导率合金的最佳化学成分设计方法

本发明是关于高初始磁导率合金最佳化学成分 的设计方法,目的是(1)要能按性能要求设计最佳成 分。(2)要能按已知合金的成分预测其磁性的好坏。 本发明内容包括若干常用添加元素的价电子数,最佳 成分时的磁性原子比数值,Mn元素的“增Ni”作用, Fc元素的原子磁矩值,含各种添加元素高导磁合金 的最仕Ni含量计算公式以及合金饱和磁化强度的 计算等。本发明用最佳Ni含量和饱和磁化强度的 计算值和已知合金的实际值对比的方法验证了本发 明方法的正确性。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
轻瓦斯告警特征气体检测方法及装置

本发明提供了一种轻瓦斯告警特征气体检测方法及装置。所述方法包括:利用抽气泵抽取待检测设备中的特征气体,所述特征气体通过输气管至电化学传感器及催化燃烧传感器;所述电化学传感器及催化燃烧传感器产生对应的电信号,并将所述电信号发送至处理器;所述处理器分析所述电信号,确定所述特征气体的成分,将所述特征气体的成分发送至显示屏上显示。本发明可在变压器气体继电器轻瓦斯告警后第一时间在现场获得变压器内部特征气体成分的定性分析信息,从而对变压器内部故障有较为准确的判断,由此可大大提升变压器运行和运检人员工作的安全性,减少由变压器故障导致的事故,造成的直接或间接经济损失,减少社会不良影响。

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北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
化学机械抛光方法及芯片版图等效特征参数提取方法

本发明公开了一种化学机械抛光方法及芯片版图等效特征参数提取方法,包括:将芯片版图划分成多个窗格,提取各个窗格的特征参数;以各个窗格的特征参数为索引,查询预设类型号,判断各个窗格的类型号,并将相同类型号的窗格定义为同一集群;对于芯片版图内任一窗格i,提取预设区域内与所述窗格i属于同一集群的其他窗格的特征参数,所述预设区域覆盖所述窗格i,且所述预设区域的面积大于所述窗格i的面积;利用所述窗格i的特征参数及所述预设区域内与所述窗格i属于同一集群的其他窗格的特征参数,计算所述窗格i的等效特征参数,提高了利用CMP模型对芯片表面形貌进行预测的方法的精度,提高集成电路的良率。

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化学分析
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
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