有色金属分析检测技术理论与应用

阿普斯特晶型S及其制备方法 996     

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本发明公开了一种阿普斯特晶型S及其制备方法，属于药物化学技术领域。该阿普斯特晶型S的差热分析显示在100～180℃之间只有一个吸热峰，151±3℃；热重分析显示不含结晶溶剂及结晶水；熔点为145～148℃。通过X?射线粉末衍射(XRPD)、熔点、差示扫描量热(DSC)、热重分析(TG)、红外分析(IR)及核磁共振分析(NMR)确证。晶型S与文献报道的晶型A、B、C、D、E、F、G、B+、I及Ⅱ明显不同。本发明的阿普斯特晶型S对温度、光照和湿度稳定，不具有引湿性，有利于长期存放；S晶型纯度高，异构体杂质小，同时结晶溶剂易于除去，制备方法简单，易于重现，适合工业生产。

路用木质素纤维及制备方法 1181     

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本发明涉及路用木质素纤维及制备方法。所述纤维包括下列重量百分比的废纸:废弃刊物纸50～70%,废弃新闻纸30～50%;废弃刊物纸的吸油率应为4～5倍,灰分含量应为28～32%;废弃新闻纸的吸油率应为6～8倍,灰分含量应为6～8%。上述纤维的制备方法包括:1)备料,对作为原料的水分和灰分分别检测及称重;2)切碎,切碎宽度控制在10±3MM;3)混料,原料放入混料机进行混合;4)粉碎,通过0.15MM筛孔时的筛分率为70±10%。本发明采用干法工艺,使整个生产过程无化学反应,无废水排出,对周边环境无任何影响,工艺流程简单易于控制,操作人员少,节能,可节省大量的木材、水、电以及化工原料,产品质量及路用性能均达到了国外同类产品的质量标准,降低了生产成本,具有明显的经济效益和社会效益。

2-羟基苯乙酮衍生物席夫碱镍Ni4(ebyl)4的合成方法 847     

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本发明公开了一种2?羟基苯乙酮衍生物席夫碱镍。该镍配合物即Ni4(ebyl)4的分子式为：C68H60N4Ni4O16，分子量为：1420.01?g/mol, H2ebyl为3?乙氧基水杨醛缩?3?氨基?2?羟基苯乙酮席夫碱。将1.662?g分析纯的3?乙氧基水杨醛和1.512?g分析纯的3?氨基?2?羟基苯乙酮，溶于30?mL分析纯乙醇溶液中，加热回流两个小时后得到配体H2ebyl。将0.069?0.138?g干燥后的H2ebyl和0.050??0.100?g分析纯四水合乙酸镍溶于5?10?mL分析纯DMF中，置于反应釜中，再加入5?10?ml乙腈，置于120oC烘箱三天，有暗红色块状晶体生成即Ni4(ebyl)4。本发明工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好且产量高。

用于板式无砟轨道的环氧树脂砂浆组合物 1061     

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本发明公开了一种环氧树脂砂浆组合物及其该组合物用于铁路板式无砟轨道弹性调整层的填充材料的应用,该环氧树脂砂浆组合物由A、B、C三部分原料组成,A部分由下列重量份数的原料组成:环氧树脂80～100份、颜料1～10份、稀释剂0～100份、增韧剂0～50份、紫外线吸收剂0～5份、抗氧剂0～5份、消泡剂0～2份、偶联剂0～5份,B部分为固化剂,C部分为填料,且A、B、C三部分的重量比为80～100∶5～100∶50～600。经检测表明本发明提供的环氧树脂砂浆组合物对水泥构件具有良好粘结力、耐湿热老化、耐化学腐蚀强,且具有较好的弹性和机械强度,可满足不同气候条件,不同施工工况的要求。

聚合物4-(N,N′-双(4-羧基苯基)氨基)苯磺酸钐及合成方法 862     

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本发明公开了一种聚合物4‑(N,N′‑双(4‑羧基苯基)氨基)苯磺酸钐及合成方法。聚合物的分子式为：C₂₅H₂₅N₂O₉SSm，分子量为：679.92，H₃L为分析纯4‑(N,N′‑双(4‑羧基苄基)氨基)苯磺酸。将分析纯H₃L溶于分析纯DMF中，加入溶于无水甲醇的分析纯Sm(NO₃)₃·6H₂O，再加入二次蒸馏水，滴加2‑3滴分析纯三乙胺调节混合液的pH，继续搅拌至溶液均一后，置于聚四氟乙烯高压反应釜中，并置于密闭烘箱中，在90℃恒温条件下反应48小时，以5℃/h的速率降至室温，得到白色透明的小长条晶体。本发明工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好且产量高。

PCB电路板制作新工艺 1158     

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本发明公开了一种PCB电路板制作新工艺,彻底解决了目前电路板生产时所产生的污染问题。并且完全取消了线路板基材的生产。一种PCB电路板制作新工艺流程:基板下料→钻孔→绝缘处理→键合线路→丝印阻焊油墨→成检→电测试→包装与传统工艺相比,该工艺具备以下特点:1)工艺流程短:相当于传统工艺的1/2,便于管理从而大大提高了生产效率。2)制造工艺环保:去掉了传统工艺中的电化学处理、酸碱性蚀刻工艺、碱性阻焊层成像工艺,从而实现了制造工艺绿色化。3)节能节耗减设备:流程短、善于管理,降低较大的设备成本及管理成本,如陶瓷电路板免去了高温烧结设备。可节约铜箔材料每年100万吨。4)免除了所有基材的覆铜制造工艺。

改进的通过白云岩岩屑信息判别白云岩成因的系统 843     

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本发明提供了一种改进的通过白云岩岩屑信息判别白云岩成因的系统，系统包括，白云岩岩屑样品准备模块、白云岩岩石学特征分析模块、白云岩地球化学特征分析模块、白云岩成因分析模块。本发明利用岩屑来进行白云岩成因分析，大大降低录井的成本，也为只有岩屑录井资料的地区提供了白云岩成因分析的参考。

复合纳米发光纤维材料的制备方法 1200     

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一种复合纳米发光纤维材料的制备方法,将稀土配合物或稀土掺杂纳米晶与聚合物单体反应形成核-壳结构的复合物;将此复合物破乳、分离、干燥,得到稀土配合物-聚合物或稀土掺杂纳米晶-聚合物复合纳米粒子粉末;将上述复合纳米粒子粉末配置成电纺溶液,静电纺丝法制备复合纳米发光纤维材料。本发明开辟了一条获得分散性好、取向性高、化学稳定性强、发光效率高的稀土有机-无机复合纳米纤维材料的新途径。这些纤维将在光通讯、激光、交通运输、航海消防、雨天作业、生物检测与生物芯片、海底信号传输以及太阳能光伏电池领域具有重要的应用价值。

5-溴水杨醛缩-2-氨基-2-甲基-1, 3-丙二醇席夫碱镍配合物及合成方法 830     

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本发明公开了一种5?溴水杨醛缩?2?氨基?2?甲基?1, 3?丙二醇席夫碱镍配合物及合成方法。该镍配合物即[Ni4(Hbrmd)3(μ3?OH)(H2O)3]·(HSO4)·(H2O)3的分子式为：C33H49Br3N3Ni4O20S，分子量为：1314.38?g/mol, H3brmd为5?溴水杨醛缩?2?氨基?2?甲基?1, 3?丙二醇席夫碱。将2.010?g分析纯的5?溴水杨醛和1.051?g分析纯的2?氨基?2?甲基?1, 3?丙二醇，溶于30?mL分析纯乙醇溶液中，加热回流两个小时后得到配体H3dbmd。将0.144?0.288?g干燥后的H3brmd溶于5?10?mL分析纯乙醇，0.263??0.526?g分析纯六水合硫酸镍溶于5?10?mL二次蒸馏水中，置于反应釜中，在120?oC烘箱中静置三天。本发明工艺简单、成本低廉、化学组分易于控制、重复性好且产量高。

动力锂电池温度控制装置 982     

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本发明公开了一种动力锂电池温度控制装置,包括温控电池盒,所述温控电池盒与高、低温液体源由管道连通形成循环回路,在循环回路上设有循环泵,循环泵与温控电池盒之间连接有温度传感器和控制单元。温控电池盒与高、低温液体源由管道连通形成循环回路,在循环回路上设有循环泵,循环泵与温控电池盒之间连接有温度传感器和控制单元,通过温度传感器实时检测和控制单元及时调控,为锂电池创造适宜的工作环境温度,提高电化学反应速度,保证锂电池的输出电流、输出电压和放电容量,以使锂电池发挥最优的性能,满足动力电源的使用要求。

自动化部署方法和系统 827     

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本发明提供了自动化部署方法和系统，其方法包括：S1：记录每个待部署任务的部署过程，并生成每个待部署任务的部署日志，获得部署日志集合；S2：基于预设筛选条件，在所述部署日志集合中筛选出待分析部署日志集合；S3：对所述待分析部署日志集合进行共性分析，确定可优化步骤；基于所述可优化步骤更新所述初始部署流程，基于更新后的初始部署流程继续执行部署任务列表中包含的剩余部署任务；用以对记录执行待部署任务的过程的日志进行筛选和共性分析，确定出初始部署流程中的可优化步骤，实现了对部署失败的原因的定位分析，实现了在部署过程中不断优化学习，提高了自动化部署的效率，减少了由于部署失败而产生的大量冗余文件。

核/壳型超顺磁性复合微粒及其制备方法与应用 959     

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本发明涉及一种核/壳型超顺磁性复合微粒及其 制备方法与该复合微粒的应用。该复合微粒由核心部分和包覆 于核心部分表面上的外壳部分组成，以其总重量为准计，核心 部分占30～70％，外壳部分占30～70％。核心部分是由Fe3O4、γ－Fe2O3或铁的其他氧化物磁性微粒构成，或者由三价铁与二价锰、镍、锌或铜等金属组成的正铁酸盐磁性微粒构成，外壳部分由单质金或银构成。复合微粒的平均直径为0.05～50μm，其制备方法包括用化学合成方法制备核心部分磁性微粒和用还原反应镀覆金或银来包覆磁性微粒。该复合微粒可标记核酸、抗原、抗体、酶、多肽、多糖、亲和素、链亲和素或者细胞之类生物及非生物材料，用于多种生物及非生物分子的检测。

爆炸物的引爆 992     

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提供一种用于引爆爆炸性药剂的爆炸物引信系统，引信系统在使用时被布置为与爆炸性药剂成引爆关系。在接受具有引爆启动特性的引爆启动信号时，系统启动、从而引爆爆炸性药剂。系统包括：启动装置，其接受引爆启动信号且启动、从而引爆所述爆炸性药剂。启动装置初始处于其不能操作性地接受引爆启动信号的非引爆启动状态。系统还包括切换装置，切换装置检测化学组成成分，作为发送给引信系统的切换信号的切换特性，在检测到化学组成成分时，切换装置能够将启动装置切换为待命状态，在待命状态中，启动装置在引爆启动信号发送给它时接受引爆启动信号。

人胃癌血管内皮细胞特异结合短肽系列 1088     

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本发明属于生物医学技术领域,具体涉及采用噬菌体肽库体外筛选所得到的人胃癌血管内皮细胞特异结合短肽(GEBPs)。本发明利用Transwell共培养技术构建人胃癌血管内皮细胞体外培养模型,通过噬菌体肽库体外筛选,成功获得能与人胃癌血管内皮细胞特异结合的短肽,经体外细胞结合实验、免疫细胞/组织化学染色、体外结合竞争抑制实验、免疫荧光检测等方法进行鉴定,证实了短肽与胃癌血管内皮细胞结合的特异性。这些短肽在胃癌诊断、血管靶向治疗以及胃癌血管生成相关分子的研究等方面具有一定的理论意义和重大的潜在应用价值。

城市污泥高效筛分脱水方法 773     

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一种城市污泥高效筛分脱水方法,将城市污水处理厂的污泥送入自同步平动椭圆振动筛中进行脱水筛分,再经过化学药剂浓缩与液态调质、箱式压滤组合技术的方法,对城市污泥进行高效脱水。本发明可在自动检测污泥浓度之后,计算加药量并自动加药实现了自动加药,压滤脱水工艺能适应现代化污水处理厂要求,通过PLC系统控制就可以实现系统全自动运行方式,其进料、滤板的移动、分段压滤、正反吹风、滤布冲洗、卸料等操作全部可通过PLC远端控制来完成,减轻了工人劳动强度。由于低压过滤、高压挤压的分段压滤技术的成功采用,工作效率提高至传统板框压滤机的2-3倍,污泥脱水后。通过本发明筛分脱水后的城市污泥泥饼含水率降低至60%以下。

Cu(I)配位聚合物绿色发光材料及其合成方法 955     

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本发明涉及一种Cu(I)配位聚合物绿色发光材料及其合成方法，该配位聚合物绿色发光材料的化学式为：{[Cu2(SQPA)]·(4, 4’-bipy)1.5·H2O]·H2O]}n, 其中，n大于1，该材料可被可见光激发，并发射出绿色荧光。该发光材料，可满足电子工业，公共信息显示，生物检测照明，基于电致发光材料、大屏幕显示等用途的需求，且制备工艺设备简单，原料廉价易得，通过反应物之间氧化还原反应使产品中含有亚铜离子，结晶性较好，无毒、无污染，热稳定性高，发光性能优良，适合中小型规模工业化生产。

从水溶液中浓缩苯胺的方法 1033     

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一种从水溶液中浓缩苯胺的方法,该方法属于化学浓缩领域,该方法步骤如下:常温常压下,1.03%的苯胺水溶液,添加剂为固体无机盐或离子液体,固体无机盐为氯化钠、溴化钠、碳酸钾或醋酸钾,离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐或1-辛基-3-甲基咪唑醋酸盐,萃取剂为甲基叔丁基醚,固体无机盐的添加量为苯胺水溶液的5%-30%(质量百分比),离子液体添加量为苯胺水溶液的5%-20%(质量百分比),萃取剂的添加量为相比6∶1,该方法能有效地富集浓缩水中低浓度苯胺,提高检测技术。

石墨烯/SDS修饰的碳糊电极及制备方法 1147     

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本发明公开一种石墨烯/SDS修饰的碳糊电极及制备方法和应用，所述石墨烯/SDS修饰的碳糊电极由电极引线、内径为3mm的聚四氟乙烯管或石英玻璃管以及填充于聚四氟乙烯管或石英玻璃管内的碳糊组成，所述电极引线一端直插于碳糊中，另一端引出到聚四氟乙烯管或石英玻璃管之外,所述碳糊由石墨粉、固体石蜡油以及石墨烯/SDS复合材料研磨均匀混合而成，所述石墨烯/SDS复合材料，按质量比计算石墨烯：SDS为1：0.3-0.4。其制备方法包括石墨烯/SDS复合材料制备，石墨烯/SDS修饰碳糊电极组装等步骤。该石墨烯/SDS修饰的碳糊电极具有良好的电化学活性、重现性和稳定性，容易活化和再生，有望在多巴胺检测中用于。

调控植物衰老进程中叶绿素降解的关键基因及其应用 967     

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本发明属于植物基因工程技术领域,具体涉及一种参与叶绿素降解调控的关键新基因及其应用。滞绿性状可以延长绿叶蔬菜的货价寿命和饲料作物的采后绿期,进而增加其主要营养成分叶绿素和蛋白质的含量;滞绿性状也可以显著地改善草坪植物的绿期和景观效果。本发明提供了一种调控植物叶绿素降解代谢的关键基因AtCRN1,该基因的氨基酸编码序列特征为SEQ?ID?No:2。本发明还提供了一种创建滞绿植物品系的方法,即通过化学或物理因子诱变目标植株中AtCRN1基因发生突变,破坏或降低AtCRN1基因的表达。此外,检测植物基因组中是否含有全长AtCRN1基因,还可以作为一种筛选/鉴定滞绿植物品系的分子辅助育种方法。

过共晶铝硅合金缸套及其制备方法 750     

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本发明涉及一种过共晶铝硅合金缸套及其制备方法，所述缸套化学成分为：Si:23%-26%；Mg:1.2%-1.5%；Cu:2.5%-3%；Fe:2.8%-3.5%；Ni:1.5%-2%；Cr:0.4%-0.5%；Al：余量；所述制备方法，采用负压重力精密铸造工艺，按以下步骤进行：步骤一：按重量百分比配料；步骤二：熔炼；步骤三：浇注；步骤四：楔压加工处理；步骤五：耐磨处理。本发明所述缸套，重量极大降低，符合业内减重降排的发展要求；采用负压重力精密铸造工艺，不仅制造工艺简单，而且铸件成品率高，这样成本比较低，经检测，缸套的硬度>90HRB，抗拉强度>410MPa。

马来酸依那普利片及其制备方法 816     

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本发明属于化学制药技术领域,公开了一种马来酸依那普利片及其制备方法。本发明公开的马来酸依那普利片主要含马来酸依那普利3～9份,填充剂40～60份、崩解剂0～35份、粘合剂0～2份、润滑剂0.1～4份和助流剂0.1～3份。与现有的市售马来酸依那普利片相比,本发明提供的马来酸依那普利片采用了传统概念上与马来酸依那普利原药相容性较差的辅料,通过原辅料之间的特定配比以及特殊的制备工艺,使得使用普通辅料所生产的马来酸依那普利片具有优良的稳定性,经检测,本品多批的有关物质量均不超过3.0%,质量稳定性优于其他企业同一产品,提高稳定性的同时最大限度的节约了成本。

壳聚糖与银铜共混制备复合抗菌剂的方法 983     

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一种壳聚糖与银铜共混制备复合抗菌剂的方法，其所述方法是按硝酸银和硝酸铜的浓度比为1 : 30-1 : 80进行混合后，再与壳聚糖共混。制得淡蓝色抗菌剂粉末。本方法减少了银的使用量，其中壳聚糖充当还原剂使用，避免了再加入化学试剂，降低了抗菌剂的毒性。这是因为工艺条件的改变，使得壳聚糖与硝酸铜的氧化还原反应充分进行，在反应中有醛基（-CHO）的生成，使得Ag+全部被还原成单质银，Cu2+蛰伏到壳聚糖基体中，从而起到协同抗菌作用，经抑菌环试验检测对大肠杆菌和金黄色葡糖球菌有显著地抑制作用，在37℃的培养条件下形成了≥10mm的抑菌环，具有显著地抑菌作用，所用材料对人体无害，价格低廉，是一种绿色环保的新型复合抗菌剂。

标识混合液及动物的标识方法 967     

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标识混合液及动物的标识方法,涉及一种标识方法。提供一种标识混合液以及采用标识混合液的动物的标识方法。标识混合液其原料组成为磁粉和食用油,磁粉的组成至少含有铁和碳。将标识混合液注入待标识物内,用检测器确定是否被标识,完成标识后,将被标识物放回。由于标识混合液原料组成简单、化学性质稳定,原料易得价廉,制备容易,标识混合液注入量十分微小,标识速度很高,因此标识成本很低。不仅对被标识物的影响极微,对人体的安全性较高;而且应用极为广泛,尤其是对活体生物的应用更显出其优点,例如养殖河豚、文昌鱼、泥鳅、鸟类等生物个体。同时也可作为非磁性产品(不影响磁力线的产品)的标识。

对近红外光具有显著可调吸收性能的梭形金纳米粒子及其制备方法 855     

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本发明公开了一种对近红外光具有显著可调吸收性能的梭形金纳米粒子及其可控制备方法。所述方法是以环境友好的聚二烯丙基二甲基氯化铵做稳定剂，在环境气氛下加热含有氯金酸、金纳米十面体、抗坏血酸、柠檬酸钠的乙二醇溶液获得梭形金纳米粒子。梭形金纳米粒子形貌为两头尖中间宽梭形结构，颗粒尺度均匀且纯度高，颗粒宽度在30-70纳米、长度在100-250纳米范围可有效调控，梭形金纳米粒子在水或乙二醇等溶液中具有非常好的分散性与稳定性，长时间保存不发生形变或团聚沉淀。本发明中的梭形金纳米粒子非常适合应用于近红外热疗、医学显影、表面等离子体光学、表面增强拉曼散射、化学和生物传感、生物医学检测等领域。

生物医学无痛采血微针芯片及其制备方法 846     

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生物医学无痛采血微针芯片及其制备方法,涉及一种带有生物传感器的采血微针及其制备方法。该微针芯片是由中间带微管道的上片和其一端部带生物传感器的下片键合而成,包括针头和针座两部分;所述的生物传感器包括与所述微管道相连的酶电极和与酶电极相连的金属电极。本发明通过MEMS技术实现微针及电极的结构,并利用生物化学中的固化酶技术,形成采血微针芯片。本发明利用毛细管作用自动采血,完全不用机械外力,微针尺寸微小,对皮肤损伤小,实现了无痛采血;利用微管道体积实现微量定量采血;在微管道中集成生物传感器,集采样与传感于一体,采样后血样直接与酶接触反应,简化了操作步骤,也避免了样品在空气中暴露。保证了检测血液的质量。

特厚钢板及其生产工艺 1146     

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本发明属于轧钢的技术领域，具体的涉及一种特厚钢板及其生产工艺。该种特厚钢板，化学成分按重量百分比为：C?0.31-0.37％，Si?0.41-0.59％，Mn?1.42-1.59％，P≤?0.007％，S≤?0.004％，Cr?1.91-2.16％，Mo?0.51-0.63％，Ni?0.17-0.29％，余量为Fe及不可避免的杂质。采用电炉冶炼→LF炉精炼→VD真空脱气→氩气保护下匀速模铸→高温脱模→带液心轧制→缓冷→加热→轧制→在线淬火→回火的工艺路线，钢板布氏硬度为291-329HB，其表面和心部硬度差值小于15HB，钢板最大厚度可达到430mm，且能满足JB/T4730.3-2005锻件检测标准I级探伤要求，能够满足高等级特厚钢板内部高质量的要求。

含磷酸酯基团的醇溶性聚芴类材料用作发光材料 773     

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本发明属于含有磷酸酯的醇溶性聚芴类高分子材料作为发光材料在电致发光和平板显示器件及荧光传感器中的应用技术领域。该类含有磷酸酯基团的醇溶性聚芴类高分子材料的电致发光器件,可以通过溶液加工的方法简单地制备来得到高亮度、高效率、低功耗的全色发光器件,此外可以利用高功函的金属铝作为电极,减少了器件制备的复杂程度,增加了器件自身的稳定性,并且整个过程避免了使用对环境污染很大的氯仿和甲苯等有机溶剂;该类含有磷酸酯基团的醇溶性聚芴类高分子材料在荧光传感器领域,可以检测痕量达到微摩尔级的三价铁离子,这也将在生命科学或生物化学有广阔的应用。

超薄MXene纳米材料及其制备方法和应用 959     

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本发明属于电化学领域，具体涉及一种超薄MXene纳米材料，制备方法包括如下步骤：将多层MXene超声分散于二甲基亚砜中，形成稳定分散的悬浊液，搅拌，超声，离心水洗，得到超薄MXene纳米材料。超薄MXene纳米材料在检测儿茶酚中的应用。在醋酸‑醋酸钠缓冲溶液加入儿茶酚的溶液，采用三电极体系，以超薄MXene纳米材料修饰的电极作为工作电极，Ag/AgCl电极为参比电极，铂电极为辅助电极，进行检测。MXene具有独特的金属导电性，生物相容性和在水相中的良好分散性，而且超薄MXene纳米材料可以加快电子转移速率，因此，可以有效提高电化学传感器的灵敏度和选择性。

水溶性阳离子型铱配合物磷光探针及制备方法 1110     

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本发明属于磷光化学探针技术,一种水溶性阳离子型铱配合物磷光探针及制备方法。现有技术未有使用金属铱用于细胞标记。本发明水溶性阳离子型铱配合物磷光探针,结构式为:本发明的制备方法如下:制备2-苯基吡啶铱二氯桥配合物Ir2(ppy)4Cl2;制备3,8-二乙炔基邻菲啰啉;制备3,8-二乙炔基邻菲啰啉铱2-苯基吡啶配合物;制备目标配合物。本发明的优点是:有很好的水溶性和脂溶性,可以很快进入细胞内;金属铱配合物的长发光寿命,通过时间分辨荧光技术可以有效地消除背景荧光的干扰,提高检测灵敏度。

芯片晶圆数字化清洗的产品清洗工艺 1559     

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本发明提供以下技术方案：一种芯片晶圆数字化清洗的产品清洗工艺，包括以下步骤：S1.启动设备，系统自动抽真空，使芯片晶圆在数字化清洗的产品清洗工艺过程中均处于真空环境，系统按照芯片晶圆清洗要求进行药液自动配比；S2.机械手自动抓取贴附晶圆的铁片至清洗工位，清洗工位转动，对晶圆喷化学配比药液的同时进行刷洗；S3.停止化学配比药液的喷洒，接通二流体对晶圆进行冲洗；S4.切断二流体供给，利用热氮供给，对晶圆进行吹干烘烤；S5.将S4中吹干烘烤后的晶圆移送至视觉检测工位进行视觉检测，确定是否为良品；S6.若晶圆为良品，结束清洗工艺，通过物料传出机构传出物料，至此清洗工艺结束。本发明的产品清洗工艺可以进行自动化清洗，提高清洗效果。