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光栅式低测力测微仪

光栅式低测力测微仪

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规格/型号:318-221DC
品牌:三丰mitutoyo
应用领域:分析检测
产地:江苏 - 苏州
厂家/供应商:昆山益迩安精密测量设备有限公司
咨询电话::13141291434(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-08-20
级别:待认证

光栅式低测力测微仪说明介绍

三丰mitutoyo


工作原理

318-221DC基于光栅莫尔条纹细分原理,通过高精度线性光栅尺(栅距20μm)与读数头配合,将测微螺杆的微小位移转换为光信号相位变化,经电子细分电路处理后输出数字信号。其核心创新在于低测力驱动系统:采用压电陶瓷微位移驱动器与弹簧预紧机构协同工作,测力范围0.01-0.5N可调,最小测力0.01N,避免传统机械测微仪因接触力过大导致的工件变形。设备内置温度补偿模块(补偿范围0-50℃),消除环境温度波动对测量结果的影响。



应用范围

该测微仪覆盖多场景精密测量需求:半导体制造中可测量晶圆厚度、芯片键合高度及光刻胶涂层均匀性;光学元件领域支持透镜曲率半径、棱镜角度偏差及镀膜厚度验证;精密机械行业用于轴承滚道直径、齿轮齿厚及螺纹中径的微米级检测。其支持与显微镜、影像测量系统集成,实现微观结构的高精度定位与尺寸分析。



技术参数

318-221DC测量范围0-25mm,分辨率0.001μm(1nm),最大允许误差±(0.02+L/500)μm(L为测量长度,单位mm);测微螺杆采用TC4钛合金材质,经超精密研磨处理(表面粗糙度Ra≤0.025μm);光栅尺防护等级IP67,抗电磁干扰能力达10V/m;设备重量1.2kg,支持RS-485与USB双接口输出,兼容MET/CAL、LabVIEW等主流计量软件。



产品特点

318-221DC配备一键式测力校准功能,用户可通过配套软件快速调整测力参数,适应不同材质工件的测量需求;其模块化设计支持光栅尺、测微螺杆的快速更换,维护成本降低60%;设备通过ISO 17025实验室认可,测量不确定度可追溯至国家计量基准。昆山益迩安提供24小时技术咨询与现场校准服务,是科研院所与高端制造企业升级微纳级检测设备的性价比优选。

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分析检测
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13141291434
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