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X射线光电子能谱仪

X射线光电子能谱仪

382
规格/型号:PHI 5000 VERSAPROBE III
品牌:集萃检测
应用领域:检测设备
产地:江苏 - 苏州
厂家/供应商:集萃检测技术服务有限公司
咨询电话::13951998182(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-08-04
级别:待认证

X射线光电子能谱仪说明介绍

X射线光电子能谱仪

X射线光电子能谱仪


用于表面的元素成分、元素化学状态信息分析

主要用途

用于表面的元素成分、元素化学状态信息分析,广泛应用于分析无机化合物、合金、聚合物,能源电池,表征表面成分、表面缺陷(腐蚀、异物、污染、分布不均等)、表面多层薄膜等。

项目介绍

设备参数/指标

l X射线束斑直径:10-200 μm

l 定性定量分析:

 表层(<10nm)元素组成及价态

l 探出限:>0.1 at%

l 微区精确定位:10 ~ 1400 μm

l 能量分辨率:XPS:0.10 eV

UPS:110 meV 

IPES:<0.45 eV

l 辅助装置:

Ar离子枪、GCIB 团簇枪、双束中和

冷热样品台、气体反应器、真空转移

功能配置

l 10 nm以内覆盖Li-U的全元素测试

l 精准的Ar离子刻蚀系统

l 配备双束中和枪,可进行导体、半导体及不导电样品的测试

l 可进行不同温度(-200~500℃)、不同气氛、真空转移等准原位测试

         
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企业认证:
  
所属领域:
检测设备
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经营范围:
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联系电话:
13951998182
详细地址:
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