X射线光电子能谱仪
用于表面的元素成分、元素化学状态信息分析
主要用途
用于表面的元素成分、元素化学状态信息分析，广泛应用于分析无机化合物、合金、聚合物，能源电池，表征表面成分、表面缺陷（腐蚀、异物、污染、分布不均等）、表面多层薄膜等。
项目介绍
设备参数/指标
l X射线束斑直径：10-200 μm
l 定性定量分析：
表层（<10nm）元素组成及价态
l 探出限：＞0.1 at%
l 微区精确定位：10 ~ 1400 μm
l 能量分辨率：XPS：0.10 eV
UPS：110 meV
IPES：<0.45 eV
l 辅助装置：
Ar离子枪、GCIB 团簇枪、双束中和
冷热样品台、气体反应器、真空转移
功能配置
l 10 nm以内覆盖Li-U的全元素测试
l 精准的Ar离子刻蚀系统
l 配备双束中和枪，可进行导体、半导体及不导电样品的测试
l 可进行不同温度（-200~500℃）、不同气氛、真空转移等准原位测试
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