NX-HDM全自动缺陷检测原子力显微镜
简介
对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，ParkNX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率，越来越多的行业需要超平的介质和基板来满足不断缩小的设备需求，ParkNX-HDM原子力显微镜系统具有业界低0.5埃噪音，并将与其真正的非接触式模式相结合实现亚埃级表面粗糙度的测试。
主要功能
1)快速自动缺陷检测功能
2)亚埃级表面粗糙度的测量
3)有小的热漂移，自动分析测量的数据
4)在线监测测试过程，
应用
自动检测缺陷
相关文献
Foucher;RTherese;Y.Lee;S.-I.Park;S-J.Proc.SPIE8681,Metrology,Inspection,andProcessControlforMicrolithographyXXVII,868106(April18,2013);doi:10.1117/12.2011463
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