原位AFM in SEM
型 号 ：LiteScope
LiteScope™扫描探针显微镜（SPM），便于集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。互补SPM和SEM技术的结合（CPEM）可以进行复杂的样品分析，包括表面形貌、机械性能、电性能、化学成分、磁性等的表征。 还能与其他扫描电镜附件相结合，如聚焦离子束（FIB）或气体注入系统(GIS ）用于纳米/微结构的制备和表面改性可以对装配结构的快速和简单的3D检查。 同时，SPM和SEM测量能够在同一地点、同一时间、同一协调系统进行。
LiteScope™采用关联探针和电子显微镜技术（CPEM），该技术利用两种不同的技术对同一物体城乡的方法。CPEM能够同时对样品表面的同一个区域进行SEM和AFM表征。
LiteScope™通常用于高真空环境，但也可根据要求适用于超高真空环境。
工作温度：+15°C至+25°C
标准工作压力：10-5Pa~105Pa
外形尺寸：129 mm x 90 mm x 45-55 mm
扫描面积：22 mm x 11 mm x 8 mm
扫描范围：100 um x 100 um x 100 um
分辨率： 0.2nm
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