设备介绍
炉膛分为三个独立单元，均可独立控温，控温系统选用10英寸工控触摸屏，可设置5个控温段落，升温降温均可设置程序控制，控温精度±1℃，数据实时显示和记录，并能通过U盘导出csv表格形式。可提前在触摸屏系统内设定好温度曲线、衬底移动的条件和时间、炉膛打开散热的条件等整个工艺流程参数，装好样品后，关上法兰。通过一键操作，设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能。进气阀和流量的控制、
真空泵和真空度的控制均可在触摸屏上直接操作，触摸屏界面模拟显示动作过程。亦可实现半自动功能，由人工分步骤操作设备自动运行。
产品优势
自动控制流程
可提前在触摸屏系统内设定好整个工艺流程参数，通过一键操作，设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能
智能控温系统
控温系统选用10英寸工控触摸屏，可设置5个控温段落，升温降温均可设置程序控制，控温精度±1℃
风冷散热系统
加热结束后炉膛均可通过按钮控制前后自动分开成两半，管子暴露在室温环境下，底部风扇强制风冷对其散热
超温报警功能
具有自动连续PID调节、超温报警、断偶指示等功能
数据可存储导出
数据实时显示和记录，并能通过U盘导出csv表格形式，数据可存储三个月
可抽真空通气氛
抽真空度大气到≤5Pa小于5min，设定真空度自动保持，可通多种气氛
技术参数
加热炉部分
炉膛模式 前后移动开启式炉膛(三个工艺炉膛)
显示模式 10英寸触摸屏
加热元件 短红外波灯管，上下水平面独立加热
工作温度 ≤800℃
升温速率 5～10℃/s
衬底移动 有，速度可调
温区长度 200mm(恒温区100*100mm) (更多尺寸可根据客户需求定制)
快速降温 ≥1℃/S
炉管规格 Φ150*1400mm (更多尺寸可根据客户需求定制)
控温精度 ±1℃
密封方式 快速法兰密封
超温报警 有
过流保护 有
断偶提示 有
测温元件 N型热电偶
传动机构
样品移动 伺服电机驱动推杆带动衬底移动
运行轨道 石英管内设计有双层轨道
推杆移动速度 可调
导轨水平度 ≤1mm/m
推杆定位误差 ≤1mm
防撞措施 超力矩自动急停，脱钩
蒸发距离 衬底下平面和源上平面间距最小2mm,且可根据需要调节
速度误差 ≤0.5%
真空与气氛
抽真空能力 大气到≤5Pa小于5min，设定真空度自动保持
气压范围 10-3Pa～105Pa，机械泵极限≤5Pa
气路系统
3路进气
不锈钢混合罐(带指针式压力表)
超压保护(≥1atm)，根据设定压力值自动排气
控制系统
半自动运行 手动按钮，电动运行
全自动运行 显示整个工艺流程且一键操作
温度数据存储 可存储数据
数据导出 U盘导出csv格式数据
工艺曲线 设备端触摸屏显示实时曲线并记录
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