射频发生器 射频电源
这段文字介绍了一种高性能射频发生器，其采用最新LDMOS技术，功率范围从100W到10kW，频率覆盖2MHz到100MHz，具备频率调谐、脉冲等功能，且配备灵活用户界面和高级功能。它适用于半导体、工业镀膜等领域，能在极端动态负载下可靠工作。产品还提供广泛的功率和频率配置，集成先进组件，支持高稳定射频输出、电弧管理等特性，易于集成和控制。其应用广泛，包括PECVD、PVD、刻蚀设备等，且在多个知名科研机构和项目中得到应用，如布鲁克海文国家实验室、劳伦斯伯克利国家实验室等。
市场上最新、最先进的射频发生器
射频发生器从2MHz到100MHz，功率从100W到10kW，带有频率调谐、脉冲和操作面板
使用最新LDMOS器件， 到达最稳定的射频性能
满足大多数需求的灵活用户界面
高级功能是标准配置！
采用最新的LDMOS场效应管技术，可在半导体和工业镀膜应用中的极端动态负载下可靠工作。
拥有广泛的功率和频率范围，允许用户在一个平台内满足您的所有需求。
可在广泛的配置（2, 13, 27，40和60MHz；100W至10kW），并配备了行业领先的组件和子组件，我们射频发生器最大限度地提高可靠性和产量。
从高稳定射频平台提高过程控制
可靠性稳健设计，缩短停机时间
易于集成和控制
特征：
高稳定射频
•频率调谐
•电弧管理
•脉冲
•CEX主/从
•CEX相移
•前操作面板
•射频功率放大
射频发生器产品范围：
从毫瓦到几十千瓦的固态
射频管设计从1000W---200kW
频率范围高达350MHz
集成固态和管设计
交直流电源设计
高压、大功率
单相和三相设计
模拟电路设计
控制电路、故障检测、计量等。
信号调节
遥控接口
专用硬件设计
特定于系统的自定义软件设计
机械包装
自定义CAD/CAM设计
快速成型
应用的设备：
PECVD设备
•PVD/磁控溅射机
•刻蚀设备
•工业镀膜
射频发生器的主要用户：
65kW CW，211MHz，水冷四极管放大器，
--------布鲁克海文国家实验室（BNL），国家同步加速器光源（NSLS）。
55kW CW，176MHz，水冷四极放大器，
-------杜克大学，自由电子激光器（FEL）
4kW CW，52MHz，水冷固态放大器，
-------布鲁克海文国家实验室（BNL），国家同步加速器光源（NSLS）
12个3.5kW CW，196MHz，水冷固态放大器
-------布鲁克海文国家实验室BNL，相对论重离子对撞机（RHIC）
11个500W宽带、1-30MHz、水冷、“A”级射频放大器，
------布鲁克海文国家实验室（BNL）相对论重离子对撞机（RHIC）
6个20kW长脉冲，402MHz，风冷四极放大器
------劳伦斯伯克利国家实验室（LBNL）散裂中子源（SNS）
3个80kW长脉冲，2MHz，风冷四极放大器
-----LBL（SNS）和橡树岭国家实验室（ORNL）的（SNS）
8kW CW，211MHz，水冷固态放大器
------布鲁克海文国家实验室（BNL），国家同步加速器光源（NSLS）
2kW CW，200MHz，风冷固态放大器-------康奈尔大学
20kW CW，27MHz，风冷固态，移动射频发生器-------KAI技术公司
25kW CW，18-32MHz，自动调谐，水冷，四极射频放大器，
------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),，（FlerovLab）
15kW CW，11-12MHz，自动调谐，水冷，三极射频放大器
-------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),（FlerovLab）
4个双300W输出，88-108MHz，用于调频发射机-----NAVAIR Spiral 3项目
12kW CW,101MHz水冷三极射频放大器---------华中科技大学
100kW CW，1.0MHz，水冷，四极射频放大器------华中科技大学
45kW CW，7.2至10.5MHz, 水冷，三极射频放大器--------JINR（弗莱罗夫实验室）
15kW CW，宽带（35-65MHz），固态，水冷射频放大器--------印度ITER
120kW CW，48MHz，水冷，四极射频放大器-------印度的IUAC
30kW CW，97MHz，水冷，三极管射频放大器-----印度的IUAC
3kW CW，13.56射频放大器和匹配网络----印度IPR
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