Zeta™-Solar光学轮廓仪
全新的 Zeta-Solar 光学轮廓仪专为满足先进金属化工艺中对于细栅线、接触垫和主栅线的测量需求而设计。更为先进的3D 成像技术，以及最大可容纳230mm x 230mm 规格
太阳能电池片的 XY 载台，使得 Zeta-Solar 成为太阳能工艺研发和制程控制的理想专用量测机台。
产品描述
KLA Instruments™ 推出新款 Zeta™-Solar。它是一款为太阳能行业定制的光学轮廓仪，可满足独特的太阳能电池金属化需求，针对先进的太阳能电池工艺金属细栅和主栅测量而设计。这款全新的 Zeta 型号利用 3D 成像技术的进步简化了成像系统。提供多种 XY 测量台选项，可满足230mm x 230mm 最新一代太阳能电池的测量需求。此外还开发了 Zeta-Solar 软件，将易于使用的 Profilm 软件与 成熟的Zeta金属化测量解决方案无缝结合。更强大的测量分析功能提供了专为
光伏行业设计的金属化测量方案和质量评判标准。
特征
太阳能电池金属细栅、主栅的高度、宽度测量，拥有宽度、高度、高宽比和横截面积的统计分析，以及合格品/不合格品识别分析
HDR功能，可优化具有超低反射率绒面的栅线测量效果
自动拼接功能，可用于大视场 (FOV) 区域测量，如主栅和栅线接触点等
采用230mm x 230mm 可编程XY 测量台，适用于最新一代太阳能电池产品
太阳能电池金属栅线的3D真彩色成像
行业领先的产品性能：可重复性和再现性
应用
金属化细栅线
金属化主栅线
金属化接触/键合垫
真彩色成像
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