设备技术指标：
1、真空室腔体:1套
1) 外形：304不锈钢D形前后开门(后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门)真空室腔体1套(采用电解抛光，真空室内外洁净美观，内部尺寸D400*480mm)，前后门配DN100视窗3套;
2) 底部：金属源接口4套，有机源接口10套，国产1200L/S风冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口4套;
3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套;
4) 左侧：CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。
2、金属/有机源系统：1套
1) 金属蒸发源4套：水冷
铜电极4组，兼容蒸发舟(钨、钼和钽舟)和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源2台(数字显示)，电流调整精度0.1A(微调)，功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀;
2) 有机蒸发源10套：源内放置4CC石英舟，温控电源4台(PLD控制，日本导电牌SR93温控表，可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能，也可实现手动控制电流)，精度±1℃，温度区间：室温-500℃，配气动挡板;
3) 隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染。
3、样品台系统：1套
1) 功能：可升降，可旋转(转速0～30转/分连续可调);
2) 托架：120*120样品托挂架，可安装小于120*120mm衬底(如：15*15mm样品25片或者25*25mm样品16片等，按客户需求);
3) 蒸距：样片与蒸发源间距200-300mm;
4) 挡板：样品托架电动挡板1套。
1) 国产1200L/S风冷分子泵1台;
2) 国产8L/S直联旋片泵1台;
3) CF200高真空气动插板阀1台;
4) CF35高真空气动挡板阀1台;
5) KF16高真空气动挡板阀2台;
6) KF40高真空电磁截止阀1台;
7) KF40真空电磁充气阀1台;
8) KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套;
9) ZDF—5227数显真空计1台。
5、机架：1套
1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑;
2) 3英寸万向轮4件，移动调整;
3) M16地脚4件，锁紧定位。
6、电控系统：1套(电气控制采用机架内置)
1) 有机源电源：4台(1带2两台，1带3两台);
2) 金属源电源：2台(1带2);
3) 蒸发源挡板电源：1台;
4) 样品台以及其挡板电源：1台;
5) 烘烤照明电源：1台;
6) PLC控制器(10寸彩色触摸屏)：1台;
7) 总控制电源(含机械泵电源)：1台。
7、其他技术参数：
1) 缺相保护、误操作保护等功能;
2) 供电：～220V两相供电系统(峰值6KW);
3) 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃;
4) 供气：小型空压机，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀类;
5) 极限真空：6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间小于35分钟(充干燥氮气)，关机12小时真空度≤10Pa;
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