超高温硼化物沉积炉
湖南顶立科技的超高温硼化物沉积炉（型号：HCVD-101015-ZrC）是一款专为冶金及
新材料领域设计的高性能热工装备，广泛应用于超高温硼化物（如ZrB₂、HfB₂、TaB₂等）的沉积工艺。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制H₂、C₃H₆等工艺气体的流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其全密闭沉积室设计密封效果优异，抗污染能力强，同时多通道工艺气路可实现流场均匀分布，避免沉积死角，显著提升沉积效果。此外，设备配备多级高效尾气处理系统，能够有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体及低熔点粘性产物，环境友好。
品牌：顶立科技
产地：湖南
型号：HCVD-101015-ZrC
核心参数
温控精度：±5~±20
最高温度：2000
额定温度：2000
非金属电热元件：其他
金属电热元件：其他
烧结气氛：其他
超高温硼化物沉积炉技术特征
采用先进的控制技术，能精密控制H2、C3H6的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率低；
适于工艺气氛：真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
超高温硼化物沉积炉产品规格
超高温硼化物沉积炉配置选择
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
加热器、马弗材质：石墨/CFC
热电偶：C/S分度号
红外仪：单比色/双比色
540 
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