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小型滑动PECVD管式炉

小型滑动PECVD管式炉

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规格/型号:OTF-1200X-50S-PE-SL
品牌:深圳科晶
应用领域:冶金
产地:广东 - 深圳
厂家/供应商:深圳市科晶智达科技有限公司
咨询电话::86-755-26959531(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-02-04
级别:待认证

小型滑动PECVD管式炉说明介绍

OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉

OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉


应用范围:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源,直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统,且设备性价比较为理想。

产品型号:

上架时间 :2020-12-09

安装尺寸:1500mm L´600mm W´1200mm H

重量:160 kg

OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源,直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统,且设备性价比较为理想。

性能指标和基本配置

OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉

OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉

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